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最終更新日:16/10/29

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画像処理と光干渉計測

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発表論文・記事(バックナンバー)

目次

光干渉 NEW

画像処理

その他
全般 半導体 ディスプレイ

光干渉計測関連

  1. 北川 克一、溝尻 旬:「波長シフト干渉法による透明板の形状測定」、光計測シンポジウム2016論文集、49-52 (2016) NEW

  2. 北川克一,溝尻 旬:「波長シフト干渉法による透明板の表面形状と板厚分布の同時測定」,精密工学会秋季大会学術講演会論文集,29-30 (2016)

  3. 大槻 真左文, 北川 克一, 泉 貴士, 遠山 護:「3波長光干渉法の開発(第1報)―薄膜干渉色解析による較正レスの油膜厚さ分布測定―」, トライボロジー会議2016 春 東京 予稿集, 96-99 (2106)

  4. 北川克一,大槻真左文:「干渉色画像解析による多層膜の膜厚分布測定」,精密工学会春季大会学術講演会論文集,999-1000 (2016)

  5. 北川克一,溝尻 旬:「マッハ・ツェンダー干渉計とモデル適合法による光ファイバ屈折率分布測定」,精密工学会春季大会学術講演会論文集,1003-1004 (2016)

  6. Masafumi Otsuki and Katsuichi Kitagawa, "Thickness Profiler by Three Wavelength Interference Color Analysis," International Tribology Conference, 996-997 (Sept. 2015; Tokyo).

  7. 北川 克一、溝尻 旬:「波長走査干渉法による透明板の形状測定」、光計測シンポジウム2015論文集、40-43 (2015)

  8. 北川克一、溝尻旬:「波長走査干渉法による透明板の表面形状と板厚分布の同時測定」、精密工学会秋期大会学術講演論文集、771-772 (2015/9/6;東北大学)

  9. 北川克一、大槻真左文:「干渉色画像解析による半透明膜の膜厚分布測定」、精密工学会秋期大会学術講演論文集、769-770(2015/9/6;東北大学)

  10. Katsuichi Kitagawa: Chapter 29 Film surface and thickness profilometry, in "Handbook of Optical Metrology -Principles and Applications-, Second Edition", Edited by Toru Yoshizawa, CRC Press (2015)

  11. Katsuichi Kitagawa, "Surface and thickness profile measurement of a transparent film by three-wavelength vertical scanning interferometry," Optics Letters 39, 4172-4175 (2014) Abstract pdf

    **This paper was published in Optics Letters and is made available as an electronic reprint with the permission of OSA. The paper can be found at the following URL on the OSA website: http://www.opticsinfobase.org/ol/abstract.cfm?URI=ol-39-14-4172. Systematic or multiple reproduction or distribution to multiple locations via electronic or other means is prohibited and is subject to penalties under law.

  12. Yoshinori Iketaki, Katsuichi Kitagawa, Kohjiro Hidaka, Naoki Kato, Akira Hirabayashi and Nandor Bokor: "Fabrication of optical multilayer for two-color phase plate in super-resolution microscope", Rev. Sci. Instrum., 85, 073701 (2014) Online

  13. Katsuichi Kitagawa: "Surface and thickness measurement of a transparent film using three-wavelength interferometry", Proceedings of the 14th euspen International Conference, pp. 189-192 (Dubrovnik; June 2014) Manuscript(pdf)

  14. 北川克一: 「3波長ワンショット干渉計測における最適波長選択と測定レンジ拡大」,計測自動制御学会論文集、50(4), 335-341 (2014) Abstract

  15. 北川克一:キーノートスピーチ「産業用光干渉計測技術開発の20年を振り返って」,精密工学会2014年度精密工学会春季大会学術講演会、 (2014.3.19; 東京大学)

  16. 北川克一:「3波長干渉法による透明膜の表面形状と膜厚分布の同時測定」、ViEW2013 ビジョン技術の実利用ワークショップ 講演論文集、 OS2-O3 (2013.12.5; パシフィコ横浜)

  17. 北川克一, 大槻真左文:「干渉色画像解析による透明膜の広視野膜厚分布測定装置の開発」, 精密工学会誌, 79 (11), 1078-1082 (2013) 【精密工学会 2013年度論文賞受賞】 pdf(jdtage) 原稿(pdf)

  18. 北川克一:「3波長干渉色解析法による膜厚測定の感度解析」、2013年度精密工学会秋季大会学術講演論文集、389-390 (2013.9; 関西大学)

  19. Katsuichi Kitagawa: "Thin-film thickness profile measurement by three wavelength interference color analysis", Applied Optics, Vol. 52, Iss. 10, pp. 1998-2007 (2013) Abstract pdf (Open Access) 【A paper selected for Spotlight on Optics of OSA in May 2013】

  20. 仲田圭佑,杉山将, 北川克一,大槻真左文:「多波長ワンショット干渉法による表面形状測定の改良アルゴリズムー複数波長統合型局所モデル適合法の局所的情報共有による高速化ー」,精密工学会第20回学生会員卒業研究発表講演会、(2013.3.13; 東京工業大学) 【発表者の東京工業大学学生 仲田圭佑君が、最優秀講演賞を受賞】

  21. 北川克一:「3波長干渉計測における最適波長選択」、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集、 A03, 5-6 (2013.3; 東京工業大学)

  22. 北川克一:特別招待講演「ニュートンの夢が遂に実現〜多波長干渉画像処理が拓く新たなナノ計測の世界〜」、2012国際画像セミナー 招待講演テキスト (2012.12.7; パシフィコ横浜) 展示会アーカイブ

  23. 北川克一、大槻真左文、坪井辰彦:「干渉色画像解析による透明膜の高速膜厚分布測定」、ViEW2012 ビジョン技術の実利用ワークショップ 講演論文集、 IS2-A6 (2012.12.7; パシフィコ横浜)

  24. 北川克一:「キャリア縞導入の不要なワンショット干渉測定」、光アライアンス、2012年12月号, 32-35 (2012)

  25. Katsuichi Kitagawa: "Transparent film thickness measurement by three-wavelength interference method: An extended application of Global Model Fitting algorithm", 第9回日仏メカトロニクス会議 (2012.11; Paris) Abstract Manuscript(pdf)

  26. 坪井辰彦、北川克一、大槻真左文: 「干渉色による高速膜厚分布測定装置の開発」, 光計測シンポジウム2012論文集、 45-48 (2012.11.16;東京)

  27. 北川克一:「多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化」、Optics & Photonics Japan シンポジウム『ディジタルホログラフィーの分野横断的応用展開』講演資料、(2012.10.24; 東京)

  28. 北川克一:「機上計測のためのワンショット干渉計測」、精密工学会2012年秋季大会シンポジウム資料集、33-35 (2012.9; 九州工業大学)

  29. 北川克一:「3波長干渉を用いた透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定−モデル適合法による重畳正弦波信号の分離アルゴリズム−」、精密工学会2012年秋季大会学術講演会講演論文集,619-620 (2012.9; 九州工業大学)

  30. 北川克一、大槻真左文:「3波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定装置の開発−広域モデル適合(GMF)アルゴリズムの拡張−」、精密工学会2012年秋季大会学術講演会講演論文集,621-622 (2012.9; 九州工業大学)

  31. 北川克一,大槻真左文,坪井辰彦:「干渉色による高速膜厚分布測定装置の開発」、MES2012 第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集、125-126 (2012.9; 大阪府立大学)

  32. Akihiro Yamashita, Masashi Sugiyama, Katsuichi Kitagawa, and Hisashi Kobayashi: "Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling", Applied Optics, 51 (28), 6700-6707 (2012) Abstract.

  33. Katsuichi Kitagawa: "Single-shot interferometry without carrier fringe introduction." SPIE Newsroom (August 21, 2012). http://spie.org/x88848.xml. DOI: 10.1117/2.1201207.004360.

  34. 大槻真左文、北川克一:「3波長ワンショット干渉計測」、光アライアンス、2012年9月号, 24-27 (2012)

  35. 北川克一:「モデル適合法に基づく3波長干渉色画像からの膜厚分布推定」、精密工学会画像応用技術専門委員会研究会報告、27 (1) 21-26 (2012.5.18; 中央大学)

  36. Katsuichi Kitagawa, "Single-shot surface profiling by multiwavelength interferometry without carrier fringe introduction", J. Electron. Imaging 21, 021107 (May 10, 2012) Abstract Manuscript(pdf)

  37. 山下晃弘、杉山 将、北川克一、小林 央:「複数波長統合型局所モデル適合法による光干渉表面形状測定」,精密工学会2012年春季大会学術講演会講演論文集,1027-1028 (2012.3.15; 首都大学東京)

  38. 北川克一:「3波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定ー広域モデル適合アルゴリズムの応用展開ー」,精密工学会2012年春季大会学術講演会講演論文集,1037-1038 (2012.3.15; 首都大学東京)

  39. 北川克一:技術賞「多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化」にまつわる話、精密工学会誌、78(2)124-125(2012)目次pdf jstage(pdf)

  40. 北川克一、坪井辰彦、杉原洋樹、杉山将、小川英光:技術賞解説論文「多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化」、精密工学会誌、78(2)112-116(2012) 目次pdf jstage(pdf)

  41. 北川克一,杉原洋樹,坪井辰彦,鈴木一嘉,大槻真左文:「3波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定」, 精密工学会誌, 78 (1), 86-91 (2012) jstage(pdf) 【精密工学会 2012年度論文賞受賞】

  42. 北川克一:「3波長ワンショット干渉計測におけるクロストーク係数推定」、計測自動制御学会産業論文集, 10 (25), 209-212 (2011) pdf

  43. 北川克一:「キャリア縞導入の不要なワンショット干渉計測法」,ViEW2011 ビジョン技術の実利用ワークショップ 講演論文集, 456-463 (2011.12;パシフィコ横浜)

  44. 北川克一: 「ワンショット干渉計測 ―過去・現在・未来―」、精密工学会画像応用技術専門委員会研究会報告、26 (4) 7-16 (2011.11.11; 東京電機大学) Manuscript(pdf)

  45. 小林央、北川克一:「リアルタイム3波長ワンショット干渉計測法の開発」、光計測シンポジウム(2011.10.14;東京ビッグサイト)

  46. 北川克一, 坪井辰彦,小林 央:「リアルタイム3波長ワンショット干渉計測法の開発」,精密工学会2011年秋季大会学術講演会講演論文集,816-817 (2011.9.22; 金沢大学) jstage(pdf)

  47. 北川克一:「3波長位相シフト法による光干渉方式表面形状測定装置の開発」,精密工学会2011年秋季大会学術講演会講演論文集,812-813 (2011.9.22; 金沢大学) jstage(pdf)

  48. 北川克一:「東レエンジニアリングにおける干渉計測技術」、精密工学会2011年秋季大会シンポジウム資料集、14-17(2011.9.20; 金沢大学)

  49. Syogo Mori, Masashi Sugiyama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa, and Kei Irie, "Automatic parameter optimization of the local model fitting method for single-shot surface profiling," Appl. Opt. 50, 3773-3780 (2011) Abstract

  50. Katsuichi Kitagawa: "Multi-wavelength single-shot interferometry without carrier fringe introduction", 10th International Conference on Quality Control by Artificial Vision (QCAV2011) [Saint-Etienne, France], Proc. of SPIE Vol. 8000, 800009, (2011.6) Abstract Manuscript(pdf) [Selected best papers of QCAV2011]

  51. 森翔悟、杉山将、小川英光、北川克一、入江慧:「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法のパラメータ自動最適化」、2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、1031-1032 (2011)[開催中止] jstage(pdf)

  52. 北川克一:キーノートスピーチ「ワンショット干渉計測−過去・現在・未来−」、2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、1027-1028 (2011)[開催中止] jstage(pdf)

  53. 大槻真左文、北川克一:「半導体・液晶プロセスにおける光干渉計測の応用」、計測と制御、50 (2)、132-137 (2011)

  54. 北川克一:「光干渉法による三次元計測」、計測と制御、50 (2)、97-104 (2011) Manuscript(pdf)

  55. 北川克一、杉原洋樹、坪井辰彦、鈴木一嘉、大槻真左文:「3波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定」,ViEW2010 ビジョン技術の実利用ワークショップ 講演論文集, 392-396 (2010.12;パシフィコ横浜)

  56. 北川克一:「ワンショット三次元計測」,第20回三次元工学シンポジウム(2010.12;パシフィコ横浜)

  57. 北川克一,杉原洋樹:「3波長ワンショット干渉法に基づいたインクジェット方式カラーフィルタ自動膜厚測定装置の高速化−多波長帯域フィルタとGPUの利用−」,精密工学会2010年秋季大会学術講演会講演論文集,781-782 (2010) 【講演者の杉原洋樹が、ベストプレゼンテーション賞を受賞】 jstage(pdf)

  58. 北川克一:「広域モデル適合による多波長ワンショット干渉測定」,精密工学会2010年秋季大会学術講演会講演論文集,777-778 (2010) jstage(pdf)

  59. 北川 克一:「半導体・液晶プロセスにおける干渉計測の応用」, 月刊オプトロニクス, 2010年8月号, 117-123 (2010)

  60. Nozomi Kurihara, Masashi Sugiyama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa, and Kazuyoshi Suzuki: "Iteratively-reweighted local model fitting method for adaptive and accurate single-shot surface profiling," Appl. Opt. 49, 4270-4277 (2010) Abstract

  61. Katsuichi Kitagawa: "Fast Surface Profiling by Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry", International Journal of Optomechatronics, 4(2) 136-156 (2010) Abstract Manuscript(pdf)NEW

  62. 北川克一, 杉原洋樹, 坪井辰彦, 鈴木一嘉, 大槻真左文:「インクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置-3波長ワンショット干渉計測法の応用-」、光計測シンポジウム2010論文集, 17-20, (2010.6.9;パシフィコ横浜)

  63. 北川克一、坪井辰彦、鈴木一嘉、大槻真左文:「3波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置」,2010年度精密工学会春季大会学術講演会論文集,881-882 (2010) jstage(pdf)

  64. 栗原 望, 杉山 将, 小川 英光, 北川 克一, 鈴木 一嘉:「重み付き局所モデル適合法によるワンショット表面形状測定」、動的画像処理実利用化ワークショップ2010(DIA2010)講演論文集, pp.249-254.(2010.3.4-5, 甲府市・ぴゅあ総合)

  65. Katsuichi Kitagawa(分担執筆): Chapter 29 Film surface and thickness profilometry, in "Handbook of Optical Metrology -Principles and Applications-",Edited by Toru Yoshizawa, CRC Press (2009)

  66. 内藤卓人, 杉山将, 小川英光, 北川克一, 鈴木一嘉: 「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法」、精密工学会誌, vol.75, No.11. 1315-1322 (2009) jstage(pdf)

  67. Katsuichi Kitagawa: Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry, ISOT 2009 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2009.9; Istanbul) [Innovation Award Nominated] Abstract Manuscript(pdf) NEW

  68. 北川克一:「3波長干渉計測のためのクロストーク補正」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (14), pp.113/116 (2009) pdf

  69. 北川克一:「位相勾配検出による干渉縞画像の2次元周波数推定」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (13), pp.108/112 (2009) pdf

  70. Tatsuya Yokota, Masashi Sugiyama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa, and Kazuyoshi Suzuki, "Interpolated local model fitting method for accurate and fast single-shot surface profiling," Appl. Opt. 48, 3497-3508 (2009) Abstract

  71. 北川克ー:「白色干渉による透明膜計測」、光計測シンポジウム(SENSPEC) 2009論文集, (2009.6.10;パシフィコ横浜)

  72. 北川 克一:「位相勾配検出による干渉縞画像の2次元周波数推定」,2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集,169-170(2009) jstage(pdf)

  73. 横田達也,杉山将,小川英光,北川克一,鈴木一嘉:「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析」、2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集,167-168(2009) jstage(pdf)

  74. 小川 英光, 中野渡 祥裕, 北川 克一, 杉山 将, 内藤 卓人:「単色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定」、計測自動制御学会論文集, vol.45, no.2, 73-82(2009) jstage(pdf)

  75. K. Kitagawa: [Invited talk] Recent Trends in Super-Precision 3D Measurement Technology - Innovative Algorithms for Optical Interferometry and their Applications-, FCV 2009 (15th Japan-Korea Joint Workshop on Frontiers of Computer Vision), Korea Student Advancement Center, Andong, Korea (Feb.5-7, 2009)

  76. 北川克一, 杉山将, 松坂拓哉,小川英光, 鈴木一嘉:「2波長ワンショット干渉計測 (ViEW推薦論文)」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 273-277 (2009) jstage(pdf)

  77. 北川克一:「3波長ワンショット干渉計測」、ViEW2008 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 5-10 (2008.12.4-5;パシフィコ横浜)

  78. 北川克一,小川英光,鈴木一嘉,杉山将,松坂拓哉:「2波長ワンショット干渉計測」、画像ラボ、2008年10月号、37-43 (2008)

  79. 内藤卓人,杉山将,小川英光,北川克一,鈴木一嘉:「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法-局所モデル適合法による膜厚と表面形状の同時測定-」、精密工学会2008年秋季大会学術講演会講演論文集、183-184 (2008.9;東北大学) jstage(pdf)

  80. 北川克一:「3波長ワンショット形状計測法」、精密工学会2008年秋季大会学術講演会講演論文集、179-180 (2008.9;東北大学) jstage(pdf)

  81. 北川克一:「光干渉法による透明膜の三次元形状測定」、光アライアンス、2008年7月号, 7-13 (2008)

  82. 鈴木一嘉、小川英光、北川克ー、杉山将:「2波長ワンショット干渉法による表面形状測定」、光計測シンポジウム2008論文集, (2008.6.6;パシフィコ横浜)

  83. 北川克一:「透過干渉法による透明膜の膜厚分布測定」、光アライアンス、2008年4月号, 58-61 (2008)

  84. 北川克一:「光干渉式表面性状測定機の今後」、精密工学会春季大会シンポジウム資料集, 18-20 (2008.3)

  85. 北川克一,小川英光,鈴木一嘉,杉山将,松坂拓哉:優れた画像処理研究に触れる-ViEW2007より「2波長ワンショット干渉計測」、映像情報インダストリアル、2008年2月号、 51-58 (2008)

  86. 北川克一:話題提供 「3次元データへの平面、2次曲面フィッティングとその応用例」、画像応用技術専門委員会研究会報告、22(4) 25-26 (2008.1.18; 東京電機大学)

  87. 北川克一,杉山将,松坂拓哉,小川英光,鈴木一嘉:「2波長ワンショット干渉計測」、ViEW2007 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 189-195 (2007.12.5-7) 【優秀論文賞(小田原賞)第2位受賞論文】

  88. 北川克一:「高精度表面計測」、群馬大学科学技術振興会主催セミナー 光計測・講演と見学会資料集 (2007.11.16;群馬大学)

  89. Katsuichi Kitagawa: [Invited] Thin Film Thickness Profile Measurement using an Interferometric Surface Profiler, ISOT 2007 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (Lausanne, 2007.10); Optomechatronic Sensors and Instrumentation III, edited by Rainer Tutsch, Hong Zhao,Katsuo Kurabayashi, Yasuhiro Takaya, Pavel Tomanek, Proc. of SPIE Vol. 6716, 671607, (2007) Abstract Manuscript(pdf) NEW

  90. K. Kitagawa, M. Sugiyama, T. Matsuzaka, H. Ogawa, and K. Suzuki, "Two-Wavelength Single-Shot Interferometry", Proc. of SICE Annual Conference 2007 in Takamatsu (計測自動制御学会学術講演会予稿集)、724-728 (2007) Abstract Manuscript(pdf) NEW

  91. 北川克一:「白色干渉法による透明膜の膜厚と屈折率の同時計測」、精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会講演論文集、461-462 (2007.9; 旭川) jstage(pdf)

  92. 北川克一:キーノートスピーチ 「干渉計測における技術開発と課題」、精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会講演論文集、451-452 (2007.9; 旭川) jstage(pdf)

  93. 北川克一:「透過干渉法による透明膜の膜厚分布測定」、光計測シンポジウム2007論文集, 77/80 (2007.6.6;パシフィコ横浜)

  94. 北川克一:「光干渉法による微小段差計測の現状と展望」、計測標準と計量管理、Vol.57, No.1, .28-32(2007.5)

  95. 杉山将,松坂拓哉,小川英光,北川克一,鈴木一嘉:「急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法」、精密工学会 2007年度春季大会学術講演会講演論文集, 585-586(2007.3; 芝浦工業大学)jstage(pdf)

  96. 北川克一:「透過干渉法による透明フィルムの膜厚分布測定 」、DIA2007動的画像処理実利用化ワークショップ講演論文集、pp.137-140 (2007.3; 北海道大学)

  97. 小川英光,下山賢一,福永正和,北川克一,杉山将:「白色光干渉法による透明膜に覆われた物体の 膜厚と表面形状の同時測定」、計測自動制御学会論文集、43(2)、71-77 (2007)

  98. 北川克一:ViEW2006基調講演収録「超精密3次元形状計測の最新動向 −白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用−」、映像情報インダストリアル、2007年2月号 45-52 (2007)

  99. 北川克一:研究報告 「光干渉による透明膜の3次元形状測定」、画像応用技術専門委員会研究会報告、21(4) 20-25 (2007.1.26; 東京電機大学)

  100. 北川克一:特別講演「超精密3次元形状計測の最新動向」、知能メカトロニクス専門委員会研究会報告、11(2) 1-7 (2007.1.17; 香川大学)

  101. 北川克一:基調講演「超精密3次元形状計測の最新動向 −白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用−」、ViEW2006 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 1-7 (2006.12.7-8)

  102. 北川克一(分担執筆):第7章 干渉編、「光学実務資料集」 p.119-132、情報機構 (2006.11)

  103. 北川克一(分担執筆):5.2節 顕微鏡による三次元計測-光干渉法-、「最新 光三次元計測」(吉澤徹 編著) p.66-73、朝倉書店 (2006.11)

  104. M. Sugiyama, H. Ogawa, K. Kitagawa, and K. Suzuki, "Single-shot surface profiling by local model fitting," Appl. Opt. 45, 7999-8005 (2006) Abstract

  105. K. Kitagawa: [Invited] Recent Advances in White-Light Interferometry - Speed Improvement and Transparent Film Profiling -, OSA OF&T 2006 (2006.10) Abstract Manuscript(pdf)

  106. K. Kitagawa: [Invited] Simultaneous Measurement of Film Surface Topography and Thickness Variation using White-Light Interferometry, Optics East 2006 (2006.10) ;Proceedings of SPIE -- Volume 6375, Optomechatronic Sensors, Instrumentation, and Computer-Vision Systems, Yasuhiro Takaya, Jonathan Kofman, Editors, 637507 (Oct. 12, 2006) Abstract Manuscript(pdf)

  107. K. Kitagawa: [Invited] Recent trends in white light interferometry, Optics East 2006 (2006.10) ;Two- and Three-Dimensional Methods for Inspection and Metrology IV. Edited by Huang, Peisen S.. Proceedings of the SPIE, Volume 6382, pp. (2006). Abstract Manuscript(pdf)

  108. 北川克一:「光干渉計測と膜形状測定への応用 」、光応用技術シンポジウム Senspec2006 (2006.6)

  109. 鈴木一嘉、北川克一、大槻真左文: 「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理」、光計測シンポジウム2006論文集、69-72 (2006.6)

  110. 北川克一:「標本化定理の産業応用−光干渉計測における新しい信号処理アルゴリズム−」、電子情報通信学会 総合大会 基礎・境界ソサイエティ パネル討論 「AP-6. 信号・画像の離散化、特に量子化法についての討論−OK量子化理論とその展望−」(2006.3.24)

  111. 北川克一:「表面形状と膜厚分布計測の最近の話題」、2006年度精密工学会春季大会シンポジウム資料、15-16 (2006.3.15)

  112. 北川克一:「東レエンジニアリングの膜形状測定装置 SP-500F」、光アライアンス、2005年11月号, 42-46 (2005)

  113. 北川克一:「光干渉法による膜形状測定装置“SP-500F”とその応用」、電子材料、2005年7月号, 77-80 (2005)

  114. 北川克一、鈴木一嘉、大槻真左文:「膜形状測定装置 SP-500Fを用いた透明膜形状測定」、光計測シンポジウム2005論文集, 91-94 (2005.6.8)

  115. 北川克一:「位相シフト法による透明膜に覆われた表面の3次元形状測定装置開発」、2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、377-378 (2005.3) jstage(pdf)

  116. 北川克一:「白色干渉法による高速表面形状測定装置」、光技術コンタクト、2004.11月号、583-591(2004)

  117. 北川克一:「東レエンジニアリング(株)の膜形状測定装置 SP-500F」、光アライアンス、2004年11月号, 8-11 (2004)

  118. 清水崇聡,栗原徹,小野順貴,安藤繁,北川克一:「時間相関イメージセンサを用いる実時間OCT」、電気学会センサ・マイクロマシン準部門主催 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、(2004.10.14-15)

  119. 「高速表面形状測定装置」、東工大 産学連携推進本部発行パンフレット (2004)

  120. 小川英光,中野渡祥裕,北川克一,杉山将:「位相シフト法による透明膜に覆われた物体の3次元形状測定」、2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、1125/1126 (2004.9) jstage(pdf)

  121. 清水崇聡,栗原徹,小野順貴,北川克一,安藤繁:「時間相関イメージセンサを用いる実時間OCT」、第65回応用物理学会学術講演会、(2004.9.1-4)

  122. Katsuichi Kitagawa: 3-D Profiler of a Transparent Film using White-Light Interferometry, Proc. of SICE Annual Conference 2004 in Sapporo (計測自動制御学会学術講演会予稿集)、TAI-7-2, 585-590(2004.8.4-6) Manuscript(pdf) NEW

  123. 北川克一:「光干渉法による表面形状測定装置「SP-500」と透明膜計測への応用」、コンバーテック、2004.7号、83-87(2004)

  124. 北川克一:「光干渉法による表面形状測定装置 SP-500とその応用」、にいがたナノテク研究会 計測分科会資料 (2004.6.2)

  125. 北川克一:「光干渉法による表面形状計測の最近の動向」、学術振興会 産業計測第36委員会 第362回研究会資料 (2004.5.28)

  126. 北川克一:「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、映像情報インダストリアル、2004年4月号 73/80 (2004)

  127. 北川克一:「白色干渉による微細3D計測とその応用」、精密工学会春季大会シンポジウム資料, 90-95 (2004.3.18)

  128. A.Hirabayashi, Y.Nakayama, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Algorithm with Optimum Noise Suppression for Surface Profiling by White-Light Interferometry", Proc. of SPIE Annual Meeting 2003, vol.5180, 365-376 (2003.8) Abstract

  129. 北川克一:「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、センシング技術応用研究会資料 (2004/2/20)

  130. 北川克一:「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、ViEW2003 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 87-92 (2003.12.4-5) 【優秀論文賞(小田原賞)受賞論文】

  131. 北川克一:「光干渉法による表面形状測定装置 SP-500とその透明膜計測への応用」、光応用技術シンポジウム(Senspec 2003)資料, 3-12 (2003.12.3)

  132. 北川克一:「白色光干渉法による透明膜の形状・膜厚同時測定」、第20回センシングフォーラム資料,169-172 (2003.9.16)

  133. 北川克一:「光干渉方式表面形状測定装置 東レSP-500における異常データ対策」、精密工学会 表面トポグラフィ解析用ソフトウェアの標準化専門委員会 第2回研究会議 (2003.7.24)

  134. 北川克一:「光干渉法を利用した表面形状と膜厚分布の同時測定」、ディジタル・イメージング実利用化研究会、2003/2/26 (2003)

  135. 北川克一:「表面形状測定装置 SP-500とバンプ検査への応用」、エレクトロニクス実装技術、2002年9月号, 42-45 (2002)

  136. A.Hirabayashi, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Fast surface profiler by white-light interferometry by use of a new algorithm based on sampling theory", Appiled Optics, vol.41, no.23, 4876-4883 (2002.8) Abstract

  137. 北川克一:「表面形状測定装置 SP-500とその応用」、光アライアンス、2002年7月号, 14-19 (2002)

  138. 北川克一、小川英光、平林晃:「信号処理に一般標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、映像情報インダストリアル、2002年4月号,87-94 (2002)

  139. 北川克一、小川英光、平林晃:「信号処理に一般標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、第13回外観検査の自動化ワークショップ論文集、141-146 (2001.12.7)

  140. 小川英光:「光干渉式表面形状測定装置の開発」、インターラボ、2001年12月号、46 (2001) 

  141. 「高速表面形状測定装置」、東工大テクノロジー、Vol.4 (2001)

  142. 北川克一、小川英光、平林晃:「信号処理に帯域通過型標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、第18回センシングフォーラム論文集, 133-137(2001.10)

  143. A.Hirabayashi, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Fast Surface Profiler by White-Light Interferometry Using a New Algorithm, the SEST Algorithm", Proc. of SPIE Annual Meeting 2001, vol.4451,356/367(2001.8) Abstract

  144. 北川克一、小川英光、平林晃:「狭帯域白色光干渉を利用した3次元微細表面形状測定装置」、光計測シンポジウム2001論文集, 1-4 (2001.6.6)

  145. H.Ogawa,A.Hirabayashi,K.Kitagawa:"Sampling Theorem for Surface Profiling by White-Light Interferometry", Proceeding of SampTA 2001,91-96(2001.5)

  146. 北川克一、小川英光、平林晃:「狭帯域白色光干渉による高速表面形状測定装置の開発」、第45回システム制御情報学会研究発表講演論文集, 131-132 (2001.5)

  147. 北川克一:「東レエンジニアリングの光干渉式表面形状測定装置」、エレクトロニクス・ジャーナル、2001年3月号, 82-83 (2001)

  148. 「世界最高速の光干渉式表面形状測定装置 」、日経マイクロデバイス、2001年3月号 , 86 (2001)

  149. 北川克一:「高速非接触表面形状測定装置 SP-500」、光アライアンス、2001年4月号, 4-6 (2001)

  150. 北川克一:「狭帯域白色光干渉を利用した3次元微細表面形状測定装置」、レーザ協会誌、25(4) 11-16 (2001) 

  151. 「白色光干渉で3次元微細形状を非接触・高速測定」、日経メカニカル、2000.11月号、68 (2000)

  152. "World's Fastest Non-Contact Surface Profiler", New Technology Japan, Vol.28 No.7(Oct.), JETRO(2000)

  153. "白色干渉式表面形状測定装置 東レエンジが開発"、日刊工業新聞、2000.7.5版

  154. 北川克一、平林晃、小川英光、水谷竜也:「狭帯域白色光干渉による高速表面形状測定装置の開発」、第39回計測自動制御学会学術講演会予稿集、103D-4 (2000.7.26) 【計測自動制御学会 2001年学会賞(技術賞)受賞】

  155. 平林晃、小川英光、水谷竜也、永井健、北川克一:「帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定」、計測自動制御学会論文集、36(1)、16-25 (2000) jstage(pdf)

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画像処理全般

  1. Tomoya Sakai, Masashi Sugiyama, Katsuichi Kitagawa, Kazuyoshi Suzuki: "Registration of infrared transmission images using squared-loss mutual information," Precision Engineering, Vol. 39, 187-193 (January 2015).

  2. 坂井智哉,杉山将,北川克一,鈴木一嘉:「二乗損失相互情報量を用いた赤外透過画像の位置合わせ」、2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集 (2014.3; 東京大学)

  3. 北川克一「画像処理による目視検査自動化の30年」、検査技術、2012年10月号、19-26 (2012)

  4. 北川克一:「画像処理技術の開発と事業化−目視検査自動化の30年を振り返って−」、非破壊検査、 61(3) 104-110 (2012)

  5. 北川克一:講演「画像処理による目視検査自動化30年」、(社) 日本非破壊検査協会主催第9回学術セミナー資料(2011.6.21 )

  6. 北川克一:特別講演「画像処理技術の開発と事業化−東レグループにおける30年−」、第35回メカトロニクスフォーラム資料(2011.3.9; 香川大学)

  7. 石川正俊, 北川克一, 猿田官二:最新画像処理 鼎談 国際画像セミナー特別招待講演「高速画像処理とその応用」を聞いて」, O plus E, 33(2), 104-110 (2011)

  8. 石川正俊, 北川克一, 猿田官二:最新画像処理 鼎談 国際画像セミナー特別招待講演「高速画像処理とその応用」を聞いて」, 映像情報インダストリアル, 43(2), 14-20 (2011)

  9. 北川克一,輿水大和,石井明:解説論文「画像基礎アルゴリズムの新展開」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 233-236 (2009) jstage(pdf)

  10. 北川克一(分担執筆):12.4節 イメージング技術、 「次世代センサハンドブック」 p.510-522、培風館 (2008.7)

  11. 北川克一:特別招待講演「画像処理25年を振り返って−回顧と展望−」、2007国際画像セミナー (2007.12.6;パシフィコ横浜)

  12. 北川克一(分担執筆):5.4節 光干渉法による表面形状計測の現状と展望、「フィルム・ガラスの表面処理技術とその評価・分析」、情報機構 (2007.9)

  13. 下記パネルディスカッション収録、「膨張するビジョンターゲット−工場から町へ−」、映像情報インダストリアル、2007年2月号 74-83 (2007)

  14. 北川克一:パネル討論「膨張するビジョンターゲット−工場から町へ−」、ViEW2006 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 358 (2006.12.7-8)

  15. 下記パネルディスカッション収録、「ビジョンビジネスへのチャレンジ」、映像情報インダストリアル、2005年2月号 68-85 (2005)

  16. 北川克一:パネルディスカッション「ビジョンビジネス17年を振り返って」、ViEW2004 ビジョン技術の実利用ワークショップ (2004.12.3)

  17. 北川克一(分担執筆):「光技術総合事典」、オプトロニクス社 (2004)

  18. 北川克一:招待講演 「半導体産業分野での計測・検査技術の研究開発事例」、鉄鋼協会秋期講演大会シンポジウム(2001.9)

  19. 北川克一:特別講演 「半導体、液晶プロセスにおける検査技術の動向」、電子情報通信学会技術研究報告、PRMU2001-32、(2001-06)

  20. 北川克一:「FAにおけるディジタル画像処理」、理研シンポジウム「ディジタル生産システム研究」、58-67 (1999.2.9)

  21. 北川克一:「検査自動化を阻む諸問題とブレークスルー」、ディジタルイメージング技術実利用化研究会 (1998.9.28)

  22. 長山孝、北川克一:「デバイス・プロセスにおける最新検査・測定技術」、日経マイクロデバイス、3月号、82/88 (1998)

  23. 北川克一:「半導体、磁気ヘッド、液晶プロセスにおける新しい計測検査技術」、電子材料、6月号、101/106 (1997)

  24. 北川克一:巻頭言「光センシング技術による非破壊検査」刊行にあたって、非破壊検査、 46(7) 465 (1997)

  25. 北川克一:特別講演 「半導体、磁気ヘッド、液晶プロセスにおける新しい計測検査技術の動向」、第3回画像センシングシンポジウム(SII'97)、335/340 (1997)

  26. 北川克一:パネルディスカッション「工程中の感覚的な検査をどうするか」、第8回外観検査の自動化ワークショップ、122-123 (1996)

  27. 北川克一:パネルディスカッション「目視検査の機能分類と自動化の問題点」、第6回外観検査の自動化ワークショップ、122-123 (1994)

  28. 高橋治、松本晋、小林強志、吉田信之、北川克一:「画像処理による磁気ヘッド平坦度全自動検査システム」、第33回計測自動制御学会学術講演会予稿集、421/422 (1994)

  29. 北川克一,本宮裕二:「電子業界における検査技術の自動化の展望」,計測技術,1989年12月号,35-40(1989)

  30. 北川克一:「東レ“MV-500”画像処理・解析システム」,映像情報(I)1987年12月号, 49-54 (1987)

  31. 北川克一:「合成繊維・プラスチックス工業のための画像処理・解析システム」,センサ技術 (1987)

  32. 北川克一:「孔位置探索に設計孔配置データを利用するノズル孔自動検査装置」,計測自動制御学会関西支部シンポジウム“計測・制御におけるディジタル信号処理”講演論文集,109-112 (1986)

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画像処理:半導体関連

パターン検査装置

  1. 北川克一:「ウエーハ外観検査技術の最新動向」、日経マイクロデバイス、3月号、87/98 (2000)

  2. 川口浩志、河添義光、北川克一、河村明徳:「画像処理を用いたウェーハ欠陥検査装置とその応用」、第3回インテリジェントFAシンポジゥム予稿集、37/38 (1991)

  3. 川口浩志、河添義光、北川克一、河村明徳:「ウェーハ欠陥検査装置のレジストコンタクトホールへの応用」、応物学会学術講演会 (1991)

バンプ検査装置

  1. 鈴木一嘉、北川克一、大槻真左文: 「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理」、光計測シンポジウム2006論文集、69/72 (2006.6)  

  2. 北川克一:「表面形状測定装置 SP-500とバンプ検査への応用」、エレクトロニクス実装技術、2002年9月号,42/45 (2002)

  3. 北川克一、吉村郁夫:「バンプの自動検査システム」、第4回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (1991)

  4. 北川克一:「ファイン接合の3次元評価装置」、第1回SHMワークショップ (1991)

  5. 北川克一、吉村郁夫:「画像処理とオートフォーカスによるウェーハバンプ自動検査システム」、計測自動制御学会学術講演会予稿集、373ー374 (1991)  

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画像処理:ディスプレイ関連

共通

  1. 北川克一:「フラットパネル工程における新しい光計測技術」、電気学会全国大会シンポジウム、1293/1296 (2000.3)

  2. 北川克一:「Display Manufacturing Technology Conference報告」、電子情報通信学会技術研究報告EID98-191〜196、23-27 (1999)

 

基板異物検査装置

  1. 北川克一、林睦:「空間フィルタ方式による基板異物検査装置の開発」、第39回計測自動制御学会学術講演会予稿集、201A-2 (2000)

  2. 北川克一:「空間フィルタ技術を用いた新しい基板異物検査装置」、映像情報メディア学会技術報告、23(23), 26(1999)

  3. Mutsumi Hayashi, Katsuichi Kitagawa:"New Particle Counter Using Spatial Filtering Technique", Display Manufacturing Technology Conference, at San Jose, 105/108 (1999)

  4. "第3回アドバンスト・ディスプレイ・オブ・ザ・イヤー'98受賞社に聞く"、半導体産業新聞、1998.9.30版

  5. 北川克一:「新しい原理によるガラス基板検査装置」、ファインテック専門技術セミナー (1998)

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その他

  1. 北川克一(分担執筆):「光技術総合事典」、オプトロニクス社 (2004)

  2. 北川克一:「Display Manufacturing Technology Conference報告」、電子情報通信学会技術研究報告EID98-191〜196、23-27 (1999)

  3. 北川克一:巻頭言「光センシング技術による非破壊検査」刊行にあたって、非破壊検査、 46(7) 465 (1997)

  4. 高橋治、松本晋、小林強志、吉田信之、北川克一:「画像処理による磁気ヘッド平坦度全自動検査システム」、第33回計測自動制御学会学術講演会予稿集、421/422 (1994)

  5. 北川克一:「半導体,磁気ヘッド,液晶プロセスにおける新しい計測検査技術」,電子材料,1997年6月号,101-106 (1997)

  6. 北川克一,本宮裕二:「電子業界における検査技術の自動化の展望」,計測技術,1989年12月号,35-40(1989)

  7. 北川克一:「東レ“MV-500”画像処理・解析システム」,映像情報(I)1987年12月号, 49-54 (1987)

  8. 北川克一:「合成繊維・プラスチックス工業のための画像処理・解析システム」,センサ技術 (1987)

  9. 北川克一:「製糸プロセスにおけるディジタル制御」,計測技術,1986年4月号,81-84(1986)

  10. 北川克一:「製糸プロセスにおけるディジタル制御」,計測自動制御学会 第1回産業システムシンポジウム,27-29 (1985)

  11. 北川克一:「プロセス工業における計測技術の動向<座談会>」,化学工学,47 (12) 742-750 (1983)

  12. 北川克一:'82化学装置便覧「合成繊維プラント」, 化学工場,26 (9) 53-58(1982)

  13. 北川克一:「プロセス計装の新技術/繊維」,計測技術,'82増刊号,116-120 (1982)

  14. K. Kitagawa, N. Tsuchida and C. Yamazaki: Continuous measurement of the quality of textured filament yarns, 18th International Man-Made Fiber Conference, Dornbirn, Austria (1979)

  15. 北川克一(分担執筆):第17章 高分子化学工業,小野木 重治 ほか編「化学計測ハンドブック」,470-489,朝倉書店 (1974)

  16. 北川克一:「ビット処理サブルーチンとその応用」,昭和47年度情報処理学会大会予稿集 (1972)

  17. 北川克一(共訳,編集):P. S. Buckley (原著)「化学プロセス制御―その理論と実際」,化学同人 (1970)

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