トップページ 最終更新日:16/05/17

画像処理と光干渉計測

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研究内容

このページでは、私が東レ、および、東レエンジニアリング勤務時代に開発・商品化した各種検査機器を紹介します。

なお、既に製造中止になっている機器もあります。

*)は、東レエンジニアリング(株)のサイトにリンクしています。

画像処理関係

光干渉計測関係

商品紹介 技術資料 商品紹介 技術資料
ウエーハ外観検査装置 INSPECTRA*) ウエーハ外観検査装置:原理と応用例 表面形状測定装置 SPシリーズ *) 表面形状測定装置SP:原理(技術資料No.1〜3)
FPD異物検査装置 HS-830 *) 異物検査装置HS-730:原理と応用例 広視野表面形状測定装置 SP-530 光干渉法による透明膜の測定(技術資料No.4)
    ワンショット表面形状測定装置 MW-500 3Dミュージアム(測定例)
    膜厚分布測定装置 TPシリーズ