3波長ワンショット表面形状測定装置 MW-500 は、多波長ワンショット干渉法による世界初の表面形状測定装置です。

半導体、フィルム、光学部品、FPD基板、精密機械部品などの３次元微細形状を高速で非接触測定します。　

ワンショット法のため、振動の影響を受けず、防振機構なしでナノメートル・オーダーの高精度測定が可能です。

また、測定速度も非常に高速で、数十Hzの"リアルタイム測定" も可能です。

従来の光干渉測定法では適用困難であった「オンマシン測定」や「インライン測定」への展望を開くものです。

なお、本装置の技術は、2011年度 精密工学会技術賞を受賞しました。

また、2012年度 精密工学会論文賞を受賞しました。

光学モジュール

【応用製品】
インクジェット方式カラーフィルタ基板の塗布高さ測定装置

• 耐振性
• 移動物体に適用可能
• 超高速 (リアルタイム)
• 3次元測定
• 非接触・非破壊
• 高精度
• 測定レンジ 8μm
• 対物レンズにより視野選択可能
• 自動化対応
• オンマシン、インライン測定可能

多波長ワンショット干渉計測

LMF法【東工大、東レエンジニアリング（株）の共同発明】

0 - 8 μm

2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X

5X (標準)

測定速度

13Hz
(512x480 画素; 条件に依る)

1.5s/視野
(1344x1024 画素; ステージ移動を含む)

測定精度
(再現性; 1 σ)

0.1nm
(typical; 4um 段差標準)

1-2 nm
(typical; 塗布高さ平均値)

カメラ画素数

512x480 画素
1600x1200 画素 (オプション)

1344x1024 画素
1600x1200 画素 (オプション)

測定画素数

選択可能

Windows PC

画像 (50nm 標準段差)

測定結果

画像 (8μm標準段差)

測定結果

画像 (ICチップの反り)

測定結果

画像 (カラーフィルタ)

測定結果