最終更新日：14/04/07

　

広視野表面形状測定装置
ＳＰ−５３０
Wide-View Non-Contact Surface Profiler

SP-530 Optics

広視野表面形状測定装置"SP-530"は、白色光干渉法による世界最高速の表面形状測定装置"SP-500"の広視野版です。

視野サイズは、約３０ｍｍφで、オプションで５０ｍｍφも可能です。

半導体ＩＣ、フィルム、光学部品、ＬＣＤ基板、ＰＤＰ基板などの３次元微細形状を非接触測定し、２次元・３次元表示するほか、各種粗さパラメータを計算します。

さらに、透明膜の膜厚分布も測定可能になりました。

　

特徴

  • 光干渉法による非接触高精度３次元測定　［高さ測定分解能：最高０．０１ｎｍ］
  • 新しい信号処理アルゴリズム搭載による高速Ｚ軸走査［最大走査速度：１００μｍ／ｓｅｃ］
  • ２次元カメラによる画面内一括高速測定　［測定時間：数秒／画面］
  • 最大視野：約３０ｍｍφ ［オプション：５０ｍｍφ］
  • 広い測定レンジ　［高さ測定レンジ：１００μｍ］
  • 日本語表示画面で、操作が容易
  • １４０万画素カメラ対応（HRモデル）
  • 透明膜の膜厚分布も測定可能（オプション）


主な仕様

モデル

ＳＰ−５３０

測定視野 max. ３０mmφ［オプション５０mmφ］
装置寸法　 干渉光学部 W300×D700×H500(mm)
PCラック 　 W700×D800×H1400(mm)
その他　　　 ＳＰ−５００/７００に準じます