膜厚分布測定装置

Thickness Profiler TP series

「ニュートンの夢」を遂に実現！

ーシャボン玉や油膜の干渉色を膜厚に変換ー

半導体、フィルム、光学部品、FPD基板などの膜厚分布を高速で非接触測定します。

カラーカメラで撮影された1枚の干渉色画像から膜厚分布を求めます。自己校正なので、予めの校正は不要です。

視野サイズは、光学系倍率で可変です。顕微鏡タイプで最大７ｍｍ、広視野タイプで最大２００ｍｍです。

また、測定速度も非常に高速で、２００万画素の全面膜厚が１秒以下で測定可能です。

ワンショット法のため、振動の影響を受けず、防振機構なしでナノメートル・オーダーの高精度測定が可能です。

従来の膜厚分布測定装置では適用困難であった移動中、あるいは、変化中の膜厚でも測定可能です。

センサー部は可動部がなく、小型・軽量で、「オンマシン測定」や「インライン測定」に最適です。

• 全面一括膜厚分布測定
• 測定レンジ ２０nm〜８μm
• 超高速 ２００万画素 １秒以下
• 高解像度タイプ ／広視野タイプ選択可能
• 高精度 1σ≦１nm
• 校正不要
• 小型・軽量
• 耐振性
• 移動物体に適用可能
• 非接触・非破壊
• 高精度
• 自動化対応
• オンマシン、インライン測定可能

干渉色画像 (TP-10)

膜厚分布測定結果

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

（膜厚 0-1600nm）

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

（膜厚 170-180nm）

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

Cr/ガラス基板上のSiN膜

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

（コート端部；膜厚 0-130nm）

干渉色画像 (TP-10)

膜厚分布測定結果

（流下中；膜厚 0-1500nm）

干渉色画像 (TP-10WD)

膜厚分布測定結果

TP-Soap_Film_Thickness_Measurement.mp4

流下中のシャボン膜の膜厚測定

流下中のシャボン膜の膜厚測定 (動画)

ニュートンリング

干渉色画像 (干渉顕微鏡)

表面形状測定結果

■ニュートンと干渉色■

ニュートンは、その61歳の時の著書『光学』（Opticks；1704年）の中で、ニュートン環（Newton's rings）に見られる干渉色を観察し、間隙と色の関係をチャートに残した。また、この色の順序が、シャボン玉の虹色と正確に同じ順序であると述べている。