MW-500 (ワンショット表面形状測定装置)
最終更新日：14/11/13
干渉計測技術：測定例
３Ｄミュージアム
3D Museum by SP-500/700 & MW-500 Surface Profiler and TP-10 Thickness Profiler
目次
MW-500 |
8um 標準段差 | カラーフィルタ | ICの反り | |
| SP-500 | ||||
| SP-700 | ||||
バンプ |
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フィルム基板 |
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TP-10 |
膜厚分布測定装置TPのページ | |||
青枠画像は、クリックで拡大画像が表示されます。
MW-500 (ワンショット表面形状測定装置)
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8um 標準段差（画像） |
8um 標準段差（測定結果） |
カラーフィルタ（画像） | カラーフィルタ（測定結果） |
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ICの反り（画像） |
ICの反り（測定結果） |
SP-500/700 (表面形状測定装置)
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１円硬貨 |
VSI法 |
視野：3.6mm 高さ：50um |
フロッピーディスク・リッド |
VSI法 |
視野： 高さ：1um |
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フロッピーディスク磁性面 |
PSI法 |
視野： 高さ：1um |
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| ウエーハ |  |
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| PSI法 視野：80um |
粗面 |
研磨面 Ra=0.65nm |
高研磨面 Ra=0.36nm |
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ウエーハ（中央） |
PSI法 |
視野：200um 深さ：25nm |
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バンプ（スタッド） |
VSI法 |
視野：0.8mm 高さ：40um |
バンプ（スタッド） |
VSI法 |
視野：0.8mm 高さ：40um |
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バンプ（グリッド） |
VSI法 |
視野：0.8mm 高さ：5um |
バンプ（Cu） | VSI法 | 視野：0.3mm 高さ：100um |
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ビアホール |
VSI法 |
視野：0.2mm 深さ：15um |
プローブ痕 |
VSI法 |
視野：80um 深さ：0.5um |
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基板パターン |
VSI法 |
視野：0.2mm 高さ：10um |
基板粗さ |
VSI法 |
視野：0.3um 粗さ：<1um |
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ICチップの反り |
VSI法 |
長さ：18mm 高さ：20um |
ICチップの反り | VSI法 | 長さ：8mm 高さ：2um |
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カラム・スペーサ |
VSI法 |
視野：70um 高さ：4um |
カラム・スペーサ 3D表示 by SPIP |
VSI法 | 視野：70um 高さ：4um |
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PDP隔壁 |
VSI法 |
視野：700um |
PDP隔壁 |
VSI法 |
視野：700um |
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磁気ヘッド浮上面 |
PSI法 |
視野：2.2mm 高さ：20nm |
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凹レンズ |
PSI法 |
視野： 高さ：1um |
オプティカル・フラット |
PSI法 |
視野：1.8mm 高さ：1.5nm |
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フレネルレンズ |
VSI法 |
視野：1.5mm 高さ：2um |
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１０ｕｍ段差 |
VSI法 |
視野：0.8mm 高さ：10um |
５０ｎｍ段差 |
PSI法 |
視野：0.4mm 高さ：50nm |
SP-700 (透明膜対応
表面形状測定装置)
| 膜厚段差ウエーハ#1 |  |
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| 視野：0.19mm | 表面（段差：2.9um） |
裏面（段差：0.0um） | 膜厚（4.1um/1.1um） | ||||||
| 膜厚段差ウエーハ#2 |  |
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| 視野：0.19mm | 表面（段差：3.3um） |
裏面（段差：2.2um） | 膜厚（2.1um/1.0um） | ||||||
| 膜厚傾斜ウエーハ |  |
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| 視野：22mm | 表面 |
裏面 | 膜厚（0.7um-1.4um） | ||||||
| ガラス基板上のレジスト膜 (１部剥離) |
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| 視野：22mm | 表面-裏面-膜厚 |
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| フィルム基板 (バンプ付き) |
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| 視野：0.2mm | 表面 |
裏面 | 膜厚 | ||||||
| MEMS |  |
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| 視野：0.8mm | 表面 |
裏面 | 膜厚（4um-8um） | ||||||
| バンプ |  |
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| 視野：0.2mm | 表面 |
裏面 | 膜厚 | ||||||
| 水滴 |  |
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| 視野：2mm | 表面(膜厚：0-20um) |
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| LCD カラーフィルタ |
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KF法 |
表面 | ||||||||
| LCD セルギャップ |
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KF法 |
膜厚 | ||||||||
| 薄膜段差 |  |
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表面（段差：200nm） |
裏面（段差：0nm） | 膜厚（300nm/100nm） | |||||||
| 研磨時間 | 0 sec | 20 sec | 60 sec | ||||||
| 表面 |
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| 段差：300nm | 段差：43nm | 段差：16nm | |||||||
| 裏面 （膜下面） |
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| 段差：290nm | 段差：290nm | 段差：290nm | |||||||
| 膜厚 |
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| 膜厚：1216/1206nm | 膜厚：709/956nm | 膜厚：466/740nm | |||||||
| 説明図 |
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| レジスト |  |
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表面（段差：1280nm） |
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| LED-PSS |  |
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| 表面 | |||||||||
