最終更新日：22/06/16

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過去のトピックス('98/7-'13/3)

　

2013年 1-3月

■［記事掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • "Thin-film thickness profile measurement by three-wavelength interference color analysis," Applied Optics, 52 (10), 1998-2007 (2013) Abstract
■［受賞］ 2012年度精密工学会論文賞を受賞！
下記論文執筆者5名が、2012年度精密工学会論文賞を受賞しました。授賞式は、3月14日に、東京工業大学で開催された2013年度精密工学会春季大会学術講演会において行われました。［精密工学会論文賞受賞論文一覧］

北川克一，杉原洋樹，坪井辰彦，鈴木一嘉，大槻真左文：「３波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定」, 精密工学会誌, 78 (1), 86-91 (2012) pdf
■［受賞］ 共同研究者が精密工学会卒業研究発表の最優秀講演賞を受賞
　 東京工業大学学生の仲田圭佑君が発表した下記講演が、2013年度精密工学会春季大会学術講演会における卒業研究発表の最優秀講演賞を受賞しました。

仲田圭佑，杉山将(東京工業大学), 北川克一，大槻真左文(東レエンジニアリング)：「多波長ワンショット干渉法による表面形状測定の改良アルゴリズムー複数波長統合型局所モデル適合法の局所的情報共有による高速化ー」
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「３波長干渉計測における最適波長選択」，精密工学会2013年春季大会学術講演会、（2013.3.13; 東京工業大学)
  • 「多波長ワンショット干渉法による表面形状測定の改良アルゴリズムー複数波長統合型局所モデル適合法の局所的情報共有による高速化ー」，精密工学会第20回学生会員卒業研究発表講演会、（2013.3.13; 東京工業大学)

2012年

■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「干渉色画像解析による透明膜の高速膜厚分布測定」、ViEW2012、（2012.12.7; パシフィコ横浜)
  • 特別招待講演「ニュートンの夢が遂に実現〜多波長干渉画像処理が拓く新たなナノ計測の世界〜」、国際画像セミナー、（2012.12.7; パシフィコ横浜) 展示会アーカイブ

■［記事掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「キャリア縞導入の不要なワンショット干渉測定」、光アライアンス、2012年12月号, 32-35 (2012)
■［講演］ パリで講演をしました。
  • Transparent film thickness measurement by three-wavelength interference method: An extended application of Global Model Fitting algorithm, 第9回日仏メカトロニクス会議 (2012.11.23; Paris)
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • シンポジウム『ディジタルホログラフィーの分野横断的応用展開』講演：「多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化」、Optics & Photonics Japan、（2012.10.24; 東京)
■［記事掲載］ 以下の論文・記事が掲載されました。
  • 「画像処理による目視検査自動化の30年」、検査技術、2012年10月号、19-26 (2012)
  • Akihiro Yamashita, Masashi Sugiyama, Katsuichi Kitagawa, and Hisashi Kobayashi: "Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling", Applied Optics, 51 (28), 6700-6707 (2012)
■［記事掲載］ ワンショット表面形状計測に関する下記論文が、SPIE Newsroomに招待され、論文が掲載されました。
  • "Single-shot interferometry without carrier fringe introduction." SPIE Newsroom (August 21, 2012). DOI: 10.1117/2.1201207.004360.(2012)
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • シンポジウム『光による機上計測は，どこまで実現されているか？』講演：「機上計測のためのワンショット干渉計測」、精密工学会2012年秋季大会学術講演会、（2012.9.15; 九州工業大学)
  • 「３波長干渉を用いた透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定」，精密工学会2012年秋季大会学術講演会、（2012.9.14; 九州工業大学)
  • 「３波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定装置の開発」，同上
  • 「干渉色による高速膜厚分布測定装置の開発」、MES2012 第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集、125-126 (2012.9; 大阪府立大学)
■［記事掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「３波長ワンショット干渉計測」、光アライアンス、2012年9月号, 24-27 (2012)
■［受賞］ 計測自動制御学会 CPDポイント高得点者賞を受賞しました。表彰式は、SICE Annual Conference 2012（秋田大学）で行われました。
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「モデル適合法に基づく3波長干渉色画像からの膜厚分布推定」、精密工学会画像応用技術専門委員会研究会 (2012.5.18; 中央大学)
■［記事掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • Katsuichi Kitagawa, "Single-shot surface profiling by multiwavelength interferometry without carrier fringe introduction", J. Electron. Imaging 21, 021107 (May 10, 2012) Abstract
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「３波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定ー広域モデル適合アルゴリズムの応用展開ー」，精密工学会2012年春季大会学術講演会講演論文集，1037-1038 (2012.3.15; 首都大学東京)
  • 「複数波長統合型局所モデル適合法による光干渉表面形状測定」，精密工学会2012年春季大会学術講演会講演論文集，1027-1028 (2012.3.15; 首都大学東京)
■［記事掲載］ 以下の記事が精密工学会誌2012年2月号に掲載されました。また、関連する画像がグラビアに載っています。
  • 解説論文：多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化 pdf
  • こぼれ話と苦労話：「多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化」にまつわる話 pdf

2011年

■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「３波長ワンショット干渉計測におけるクロストーク係数推定」、計測自動制御学会産業論文集, 10 (25), 209-212 (2011) pdf
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「キャリア縞導入の不要なワンショット干渉計測法」、ViEW2011 ビジョン技術の実利用ワークショップ、（2011.12.9; パシフィコ横浜)
  • 「ワンショット干渉計測 ―過去・現在・未来―」、精密工学会画像応用技術専門委員会研究会、 (2011.11.11; 東京電機大学)
■［受賞］ 第31回精密工学会技術賞受賞
　 多波長ワンショット干渉計測技術が、社団法人精密工学会より2011年度（第31回）精密工学会技術賞を受賞しました。

精密工学会技術賞は精密工学の領域で創造的業績をあげた研究者・技術者に対して、その精進と努力に報い、かつ将来の発展を期待して贈られる賞です。[精密工学会技術賞受賞記録]

受賞テーマ：多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化
受賞者：
（東レエンジニアリング）北川克一、坪井辰彦
（東レ）杉原洋樹
（東京工業大学）杉山将
（東京福祉大学）小川英光
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「リアルタイム3波長ワンショット干渉計測法の開発」、光計測シンポジウム2011、（2011.10.14; 東京ビッグサイト)
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • シンポジウム『光形状計測技術の最新動向』講演：「東レエンジニアリングにおける干渉計測技術」、精密工学会2011年秋季大会学術講演会、（2011.9.20; 金沢大学)
  • 「３波長位相シフト法による光干渉方式表面形状測定装置の開発」，精密工学会2011年秋季大会学術講演会、（2011.9.22; 金沢大学)
  • 「リアルタイム３波長ワンショット干渉計測法の開発」，同上
■［講演］ サンテティエンヌ（仏）で講演をしました。
  • "Multi-wavelength single-shot interferometry without carrier fringe introduction", 10th International Conference on Quality Control by Artificial Vision (QCAV2011) [Saint-Etienne, France] （2011.6.28）
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「画像処理による目視検査自動化30年」、(社) 日本非破壊検査協会主催学術セミナー、（2011.6.21）
■［講演］ 以下の講演が行われる予定でしたが、開催中止になりました。
  • キーノート講演「ワンショット干渉計測−過去・現在・未来−」、精密工学会2011年春季大会学術講演会、（2011.3.15; 東洋大学)
  • 「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法のパラメータ自動最適化」，同上
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 特別講演「画像処理技術の開発と事業化−東レグループにおける３０年−」、第３５回メカトロニクスフォーラム、（2011.3.9; 香川大学）
■［学位授与］ 東京大学より情報理工学博士号の学位を授与されました（2011.2.24）。 参考サイト： 博士への遠く長い道のり 〜民間企業エンジニアの論文博士号取得まで〜

学位記
■［記事掲載］ 以下の論文2編が、計測自動制御学会の会誌「計測と制御」2月号（特集 最新の光学形状計測と産業への応用）に掲載されました。また、表面形状測定装置SP-500により測定した3D画像が表紙を飾っています。
  • 解説「光干渉法による三次元計測」、計測と制御、Vol.50 No.2、特集号 最新の光学形状計測と産業への応用 (2011)
  • 事例紹介「半導体・液晶プロセスにおける光干渉計測の応用」、同上

2010年

　 ■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「ワンショット三次元計測」　第20回三次元工学シンポジウム
    12/9(木) 11:20〜12:00 パシフィコ横浜　展示ホール2階 アネックスホールF204
  • 「3波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定」
    ViEW2010　ビジョン技術の実利用ワークショップ 　
    12/10(金) 15:25〜15:45 パシフィコ横浜　展示ホール2階 アネックスホール
　 ■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「３波長ワンショット干渉法に基づいたインクジェット方式カラーフィルタ自動膜厚測定装置の高速化−多波長帯域フィルタとGPUの利用−」,精密工学会2010年秋季大会学術講演会（2010.9.27-29；名古屋大学)
  • 「広域モデル適合による多波長ワンショット干渉測定」，同上
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「半導体・液晶プロセスにおける干渉計測の応用」, 月刊オプトロニクス, 2010年8月号, 117-123 (2010)
　 ■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「インクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置−３波長ワンショット干渉計測法の応用−」,光計測シンポジウム2010 （2010.6.9；パシフィコ横浜　アネックスホール)
　 ■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「３波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置」,精密工学会春季大会学術講演会（2010.3.16-18；埼玉大学)
　 ■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「重み付き局所モデル適合法によるワンショット表面形状測定」,動的画像処理実利用化ワークショップ DIA2010（2010.3.4-5；ぴゅあ総合-男女共同参画推進センター；甲府)
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「白色干渉法による高速表面形状測定の応用＝透明膜厚の膜形状計測＝」、光アライアンス、2010年3月号, 28- (2010)

2009年

■［講演］ イスタンブールで講演をしました。
  • Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry, ISOT 2009 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2009.9; Istanbul) 【Innovation Award Nominated 】
■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 北川克一：「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (13), pp.108/112 (2009) pdf
  • 北川克一：「３波長干渉計測のためのクロストーク補正」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (14), pp.113/116 (2009) pdf
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「白色干渉による透明膜計測」：光応用技術シンポジウム Senspec2009　
    月日：6月10日（水）
    場所：パシフィコ横浜 アネックスホール
■［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-500に搭載されているSBアルゴリズムが、日本特許として登録されました。
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析」,精密工学会春季大会学術講演会（2009.3.11-13；中央大学)
  • 「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」，同上
■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 小川英光，中野渡祥裕，北川克一，杉山 将，内藤卓人「単色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定」.計測自動制御学会論文集, vol.45, no.2, 73-82 (2009)
■［講演］ 韓国で招待講演をしました。
  • Invited talk: "Recent Trends in Super-Precision 3D Measurement Technology - Innovative Algorithms for Optical Interferometry and their Applications-", FCV 2009(15th Japan-Korea Joint Workshop on Frontiers of Computer Vision),Korea Student Advancement Center, Andong, Korea (Feb.5-7, 2009)
■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 北川 克一, 杉山 将, 松坂 拓哉, 小川 英光, 鈴木 一嘉 「２波長ワンショット干渉計測」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 273-277 (2009) pdf
  • 北川 克一, 輿水 大和, 石井 明：解説論文「画像基礎アルゴリズムの新展開」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 233-236 (2009) pdf

2008年

■［講演］ 以下の講演をしました。
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ（ViEW2008）：「3波長ワンショット干渉計測」 （2008.12.4；パシフィコ横浜）
■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「２波長ワンショット干渉計測」、画像ラボ、2008年10月号、37-43 (2008)
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 精密工学会秋期大会：「3波長ワンショット形状計測法」 （2008.9.17-19；東北大学）
  • 同：「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法」（同）
■［講演］ 以下の公開講義が開催されました。
  • 「産業界における干渉計測の現状と最新動向」、 富山県立大学工学部機械システム工学特別講義、2008年7月9日(水)
■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「光干渉法による透明膜の三次元形状測定」、光アライアンス、2008年7月号, 7-13 (2008)
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 光計測シンポジウム：「２波長ワンショット干渉法による表面形状測定」 （2008.6.11; パシフィコ横浜）
■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 精密工学会春季大会シンポジウム：「光干渉式表面性状測定機の今後」 （2008.3.17; 明治大学）

2007年

■［講演］ 以下の講演・発表が行われ、優秀論文賞「小田原賞」第２位を受賞しました。
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ（ViEW2007）：「２波長ワンショット干渉計測」（2007年12月6日　15:10-15:30　パシフィコ横浜)

■［講演］ 以下の特別招待講演をしました。
  • 2007国際画像セミナー： 特別招待講演 「画像処理25年を振り返って−回顧と展望−」（2007年12月6日　12-12:50　パシフィコ横浜)

■［講演］ ローザンヌ（スイス）で講演発表をしました。
  • ISOT 2007 (International Symposium on Optomechatronic Technologies ): [Invited Paper] "Thin Film Thickness Profile Measurement using an Interferometric Surface Profiler", (Oct. 8-10, Lausanne Switzerland)
■［講演］ 以下の講演・発表をしました。
  • 精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会：「白色干渉法による透明膜の膜厚と屈折率の同時計測」（9/12-14、旭川）
  • 精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会：キーノートスピーチ「干渉計測における技術開発と課題」（9/12-14、旭川）
  • 計測自動制御学会学術講演会："Two-Wavelength Single-Shot Interferometry"（9/18-20、香川大学）
■［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-700に搭載されている透明膜測定アルゴリズムが、日本特許として登録されました。
■［講演］ 以下の講演・発表をしました。
  • 光計測シンポジウム2007：「透過干渉法による透明膜の膜厚分布測定」（6月6日(水）12:10〜12:30; パシフィコ横浜）
  • 光応用技術シンポジウム　Senspec2007： 「光干渉法による三次元計測 」（6月7日(木)14:30-15:00; パシフィコ横浜）
■［講習会］ 技術情報協会主催のセミナー 「表面形状・膜厚分布測定の正しい測定手法 および 上手な装置の取り扱い方」が開催されました。

■［講演］ 以下の講演・発表をしました。
  • 精密工学会 2007年度春季大会学術講演会：「急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法」（3/20-22; 芝浦工業大学）
  • DIA2007動的画像処理実利用化ワークショップ： 「透過干渉法による透明フィルムの膜厚分布測定」（3/8-9; 北海道大学）
■［講演］ 以下の講演・発表をしました。
  • 画像応用技術専門委員会研究会：研究報告 「光干渉による透明膜の３次元形状測定」（1/26; 東京電機大学）
  • 知能メカトロニクス専門委員会：特別講演「超精密３次元形状計測の最新動向」（1/17; 香川大学）

2006年

■［講演］ 以下の講演・発表をしました。
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ ViEW2006：基調講演 「超精密３次元形状計測の最新動向−白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用−」（12/7; パシフィコ横浜）
■［新刊］ 以下の書籍が出版されました。
■［セミナー講義］ 技術情報協会主催のセミナー 「μ〜ｎオーダーの表面形状・膜厚分布測定ノウハウ」が開催されました。

■［認定］ 計測自動制御学会から、「計測制御エンジニア」として認定されました（2006/8）。

■［講演］ 米国 ボストン、ロチェスターで講演をしました。
  • [Invited Talk] Recent trends in white light interferometry, Optics East Conference 6382 (2006.10.1 Boston)
  • [Invited Talk] Simultaneous Measurement of Film Surface Topography and Thickness Variation using White-Light Interferometry, Optics East Conference 6375A (2006.10.3 Boston)
  • [Invited Talk] Recent Advances in White-Light Interferometry - Speed Improvement and Transparent Film Profiling -, OSA OF&T (2006.10.11 Rochester,NY)

■［講演］ 平成18年6月8日(木)-9日(金)、パシフィコ横浜ハーバーラウンジＢで開催された 「光応用技術シンポジウム　Senspec2006」において、「光干渉計測と膜形状測定への応用」と題して講演しました。
■［セミナー講義］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ディスプレイ・半導体における表面形状と膜厚分布測定技術」が開催されました。

■［講演］ 以下の講演をしました。
  • 2006年度精密工学会春季大会シンポジウム「表面形状/性状測定の先端ハードウェア技術と測得データの解析技術」において、「表面形状と膜厚分布計測の最近の話題」（3/15; 東京理科大学）

  • 2006年度電子情報通信学会 総合大会 パネル討論「信号・画像の離散化、特に量子化法についての討論」において、「標本化定理の産業応用−光干渉計測における新しい信号処理アルゴリズム−」（3/24; 国士舘大学）

2005年

■［セミナー講義］ 株式会社情報機構主催のセミナー 「光学部品、ディスプレイ、薄膜表面における微細表面形状の測定法」(11/30; 東京）で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。
■［講演］ 平成17年6月8日（水）、パシフィコ横浜展示場2階アネックスホールで開催された 「2005光計測シンポジウム」において、「膜形状測定装置ＳＰ−500Ｆを用いた透明膜形状測定」と題して講演しました。


■［受賞］ FPD用異物検査装置 HS-830が、第10回アドバンスト ディスプレイ オブ ザ イヤー２００５（ＡＤＹ）優秀賞を受賞しました。
■［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 精密工学会春期大会： 2005/3/16 （慶応大学）

■［セミナー講義］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ＦＰＤ・半導体の微細表面形状・膜厚分布測定」で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。

2004年

■［講演］ 次の講演を行いました。
  • ViEW2004 ビジョン技術の実利用ワークショップ／パネル討論： 2004/12/3（パシフィコ横浜）
  • 日本光学会北陸信越支部講演会： 2004/12/17 （金沢大学）

■［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 計測自動制御学会学術講演会： 2004/8/5（北海道工業大学）
  • 精密工学会秋期大会： 2004/9/17 （島根大学）

■［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 学術振興会 産業計測第36委員会 第362回研究会： 2004/5/28（弘済会館）
  • ナノテクノロジー研究会： 2004/6/2 （信濃川テクノポリス開発機構）

■［受賞］表面形状測定装置ＳＰ−５００の高速化アルゴリズム（ＳＢ法）が、「手島記念発明賞」を受賞しました。(2004/3/15)

■［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • センシング技術応用研究会 第140回研究例会： 2004/2/20（大阪産業創造館）
  • 精密工学会春季大会シンポジュウム「産業応用分野における光学的３Ｄ形状計測技術」： 2004/3/18 （東京大学本郷キャンパス）

2003年

■［受賞］12月4-5日、パシフィコ横浜で開催された「ビジョン技術の実利用ワークショップ」において発表した論文「白色光干渉法による透明膜形状計測」が優秀論文賞「画像応用技術専門委員会 小田原賞」を受賞しました。(2003/12)

■［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 光応用技術シンポジウム Senspec2003： 2003/12/3-4（パシフィコ横浜）
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ ViEW2003： 2003/12/4-5（パシフィコ横浜）

■［講演］ 9月16-17日、東京農工大で開催された第20回センシングフォーラム（計測自動制御学会主催）において、「白色干渉法による透明膜の形状・膜厚同時測定」を講演発表しました。(2003/9)
■表面形状測定装置 "SP-500 "の高速化信号処理アルゴリズム（ＳＢ法）が、米国特許として登録されました。(2003/2)

■［講演］ 2月26日、当社で開催された「ディジタル・イメージング実利用化研究会」で表面形状測定装置 "SP-500 "と、その膜厚測定への応用について講演発表しました。(2003/2)

2002年

■［講演］米国ボストンで開催されたＳＩＤにおいて、基板異物検査装置HS-730を発表

5/19〜5/24、Boston／Hynes Convention Centerで開催されたSociety for Information Display（ＳＩＤ）において、"Next-Generation Particle Inspection System HS-730 for FPD Glass Plates"と題して発表しました。

2001年

■［講演］ 12月6-7日、パシフィコ横浜で開催された「外観検査自動化ワークショップ」で表面形状測定装置 "SP-500 "を講演発表し、優秀論文ベスト３に選ばれました。
■［講演］ 10月3-4日、北大で開催された「センシングフォーラム」で表面形状測定装置 "SP-500 "を講演発表しました。
■［講演］ 9月22日、九州産業大学で開催された鉄鋼協会秋期講演大会シンポジウムで特別講演しました。

■［講演］ 表面形状測定装置 "SP-500 "で使用されている信号処理アルゴリズムをサンジエゴで開催のSPIE 2001で講演発表しました。(2001/8/1)

■［受賞］表面形状測定装置 "SP-500 "の発表論文が2001年度計測自動制御学会学会賞（技術賞）を受賞しました。
■［講演］ 6月21日、香川大学で開催された電子情報通信学会 パターン認識・メディア理解(PRMU)研究会で特別講演しました。
■［講演］ 表面形状測定装置 "SP-500 "を6月6日、パシフィコ横浜で開催の光計測シンポジウム2001で講演発表しました。

■［講演］ 表面形状測定装置 "SP-500 "を国際学会で発表
５月１４〜１７日、米国オーランドで開催された標本化定理に関する国際学会(SampTA 2001)において講演発表しました。
■［講演］ 表面形状測定装置 "SP-500 "を学会発表
５月８〜１０日、大阪で開催された第４５回システム制御情報学会研究発表講演会(SCI 2001)において講演発表しました。

2000年

■技術専門誌「日経メカニカル」 2000年10月号のＦｏｃｕｓページに表面形状測定装置 "SP-500 "が紹介される

■JETRO発行の英文月刊誌「New Technology Japan」 2000年10月号に表面形状測定装置 "SP-500 "が新技術として紹介されました。

■［講演］ 基板異物検査装置"IQ-530"と表面形状測定装置 "SP-500 "を学会発表
７月２６〜２８日、九工大で開催された計測自動制御学会学術講演会(SICE 2000 in Iizuka)において、上記２つの製品について発表しました。
■新製品表面形状測定装置 "SP-500 "がＮＨＫーＴＶで紹介される
産学共同の成果の例としてＮＨＫの取材を受け、７月２５日の「クローズアップ現代」（大学からベンチャーは生まれるか？）で紹介されました。（総合 19:35；BS1 21:30）
■新製品表面形状測定装置 "SP-500 "を新聞発表 （日刊工業新聞 2000/7/5付け）
世界最高速の白色干渉式表面形状測定装置を発売しました。本装置に搭載されている新しい信号処理アルゴリズムは、当社と東京工業大学とが共同発明したものです。半導体ウエーハバンプ、磁気ヘッド、ＦＰＤ基板、プラスティク・フィルム、光学部品などの３次元形状測定に最適です。

1999年

■［講演］ 異物検査装置 IQ-530を国際学会Display Works 99で発表 (99/02/04)

1998年

■［受賞］ 基板異物検査装置 IQ-530が、ＡＤＹ(Advanced Display of the Year)'98 グランプリを受賞 (98/07/01)


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